固定式碳酰氟檢測儀

固定式碳酰氟檢測儀是用來(lái)檢測環(huán)境中的碳酰氟濃度，并在其濃超標時(shí)報警。碳酰氟又名氟光氣，主要用作半導體制造裝置的清洗氣和蝕刻氣，也用于有機合成的中間體、氟化劑；碳酰氟為無(wú)色、有刺激性的有毒氣體，遇水會(huì )快速水解，生成二氧化碳和氟化氫。

產(chǎn)品技術(shù)參數

檢測氣體：碳酰氟COF2,氟光氣

產(chǎn)品型號：ERUN-PG51-CF

分辨率：0.001ppm（0-10ppm高精度）/0.01ppm（0～10 ppm）；0.01ppm（0～100 ppm），0.1ppm（0～1000 ppm），1ppm（0～5000 ppm以上）；0.01MG/L；0.1%LEL；0.01%，0.001%Vol，其他分辨率可訂制

檢測原理：電化學(xué)、催化燃燒、紅外、熱導、半導體、PID光離子等（根據現場(chǎng)環(huán)境和用戶(hù)需求訂制）

檢測精度：≤±3%F.S；重復性：≤±2%

線(xiàn)性度：≤±2%；不確定性：≤±2%

響應時(shí)間：T90≤20秒；恢復時(shí)間：≤30秒

信號輸出：總線(xiàn)制RS485信號，分線(xiàn)制4~20mA；選配：0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、無(wú)線(xiàn)傳輸、網(wǎng)絡(luò )傳輸、短信報警

工作電壓：12~30VDC直流電，單臺設備的標準電源為24V、1A或大于1A直流電

報警方式：默認1路，可選2路無(wú)源接觸點(diǎn)（干節點(diǎn)）輸出，三級報警，報警點(diǎn)可設置現場(chǎng)聲光報警

防護等級：IP65防水防塵

防爆功能：ExdllCT6Gb；隔爆型

界面語(yǔ)言：默認中文，中英文可選

顯 示 屏：1.7高清彩屏

顯示方式：?jiǎn)瓮ǖ里@示

安裝方式：管道式、壁掛式

工作方式：在線(xiàn)擴散式/管道式檢測。選配：泵吸式/流通式

報警模式：低報警、高報警、區間報警

校準功能：零點(diǎn)自動(dòng)跟蹤、目標點(diǎn)多級校準

誤操作識別：自動(dòng)識別并阻止

數據恢復：全部恢復，選擇性恢復（濃度、報警、全部）

日志記錄：校準日志、維修日志、故障記錄、故障解決對策

工作環(huán)境：溫度-40℃~+70℃、濕度0-99%RH

重量：1.5KG

預處理（選配）：常溫高濕預處理系統、高溫高濕度預處理系統、高溫高濕高粉塵預處理系統

此款儀器為固定在線(xiàn)式安裝，可連接輸氣管道；直流電供電，中英文雙語(yǔ)可切換；防護等級為IP65，防爆類(lèi)型為隔爆型，外殼采用防爆材料制成，適用于各種復雜工況；1.7寸高清彩色顯示屏，清晰顯示濃度、時(shí)間、溫濕度等信息。

碳酰氟是一種刺激性強、無(wú)色有毒的氣體，對人體呼吸道粘膜和皮膚有強烈刺激性作用，是新一代工業(yè)半導體設備的清洗和刻蝕材料，雖然對環(huán)境的污染不大，但是對人體健康有很大的危害。在制備、生產(chǎn)以及使用的過(guò)程中要注意檢測其濃度變化，可使用固定式碳酰氟檢測儀檢測。